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发表于 2023-9-10 19:37
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posted by wap, platform: 华为
光刻机原理都是公开的。光机所是研究所,主要也就是搞搞原理样机,而且这还只是euv光刻机的部分技术内容,整机原理样机可能都没有搞出来。
等到原理样机出来,工程化还得找厂家合作,光机所没有批量生产能力,虽然光刻机产量本身也不大。
另外研究性质一些配件可以从过非正常渠道搞到。量产不可能这样。
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